Подложки анатаза TiO2

Пленки TiO2 выращиваются на подложках LaAlO3 (001), Si (100) и SiO2 реактивным радиочастотным распылением. рентгеновский снимок.

Полюсные фигуры дифракции (XRD) выявили важные характеристики текстуры и фазового распределения на эти пленки. В сочетании со спектроскопической эллипсометрией полюсные фигуры позволили проанализировать рост характеристики по всему объему слоев. Детали микроструктуры пленок исследованы с помощью просвечивающей электронной спектроскопии. Анатаз - доминирующая фаза в пленках, выращенных на всех подложках. На пленках TiO2 / LaAlO3 мозаичность очень мала, так что полюсная фигура очень похожа на фигуру монокристалла анатаза. Детальный анализ полюсных фигур XRD показывает небольшое количество рутила в TiO2 /пленки LaAlO3. При росте TiO2 на SiO2 также обнаруживаются фазы рутила и брукита. Результаты электронной микроскопии и XRD показывают образование двойников анатаза {112} в пленках, выращенных на различных подложках, предполагая, что двойник анатаза {112} опосредует рост рутила и брукита фазы. Оптические результаты согласуются с данными XRD: оптические свойства TiO2 / LaAlO3 пленки аналогичны обычным значениям объемных кристаллов анатаза, что указывает на ориентацию пленки в [001], тогда как результаты для TiO2 / SiO2 совместимы с более низким кристаллическим порядком.