Подложки алюмината лантана - танталата алюминия стронция LSAT

LSAT имеет кристаллическую структуру перовскита и обычно используется в качестве монокристаллической подложки для роста эпитаксиальных тонких пленок. Кубическая структура LSAT и параметр решетки 3,868 Å делают его совместимым для эпитаксиального роста широкого диапазона тонких пленок оксида перовскита. с относительно низкой деформацией. LSAT в основном используется в качестве монокристаллических подложек или пластин толщиной 0,5 мм. Эти подложки и пластины используются в качестве материала подложки для эпитаксиального роста оксидных тонких пленок и их гетероструктур. Типичные материалы, выращиваемые на подложках LSAT, включают титанат стронция (SrTiO3), купратные сверхпроводники (такие как YBCO), сверхпроводники на основе железа (пниктиды железа), манганиты редкоземельных элементов, никелаты редкоземельных элементов и другие. Сложные полупроводники, такие как нитрид галлия (GaN), также можно выращивать на LSAT.

LSAT используется в качестве популярной подложки для эпитаксиального роста тонких оксидных пленок из-за его высокой химической и термической стабильности и очень низкой электропроводности. Условия роста таких эпитаксиальных слоев могут привести к образованию на многих других кристаллических подложках дефектов высокой плотности, которые могут изменить их свойства. Одним из примеров является склонность титаната стронция образовывать дефекты кислородных вакансий при высоких температурах в высоком вакууме. Эти дефекты приводят к значительным изменениям его свойств, включая увеличение электропроводности и оптической непрозрачности. Напротив, LSAT стабилен как в окислительной, так и в достаточно восстановительной атмосфере при высоких температурах, что позволяет расширить рабочее окно для условий обработки и выращивания.