Алмазные режущие диски для разделения пластин и подложек

Корпусной алмазный режущий диск представляет собой ультратонкое алмазно-никелевое лезвие, осажденное гальваническим методом на прецизионный корпус из алюминиевого сплава.


Всю гамму предлагаемого нами режущего инструмента можно разделить на следующие основные типы:
1. Алмазные режущие диски с улучшенным качеством реза для разделения полупроводниковых пластин (кремний, арсенид галлия и др.).
Диски с многослойным лезвием, модифицированным углеродными наночастицами твердой фазы, внутренний слой которого обладает высокой прочностью и износостойкостью и обеспечивает производительную резку, а внешние слои имеют более мелкое алмазное зерно, мягкую связку и обеспечивают высокое качество реза.
По сравнению с дисками предыдущего поколения наши диски имеют следующие преимущества:
- более высокую точность корпуса (отклонения от плоскостности, неперпендикулярности, радиальные и торцевые биения – не более 2 мкм);
- в качестве абразивного элемента используются синтетические алмазные микропорошки, полученные технологией синтеза микрозерен узкого заданного диапазона, а не размалыванием с последующей сепарацией;
- использована новая технология подготовки корпуса под осаждение лезвия, позволяющая повысить выравниваемость покрытия и увеличить адгезию лезвия и корпуса;
- для процесса осаждения «никель-алмаз» использованы новые добавки и компоненты, позволяющие увеличить прочность и эластичность лезвия;
- корпус имеет треугольную форму у основания лезвия. При такой конструкции образующиеся в процессе резки мелкие осколки пластины выбрасываются из зоны резания, что повышает стойкость диска.


2. Алмазные режущие диски для разделения подложек из керамических и др. твердых материалов (поликор, ситалл, керамика, кварц, карбид кремния и др.).
Нами поставляются диски с толщиной лезвия от 60 до 500 мкм и высотой до 5мм с величиной алмазного зерна от 14/10 до 50/40.
Главной проблемой при разделении диэлектрических подложек, вследствие их высокой твердости и низкой теплопроводности, является возникновение больших температур в зоне резания. Это приводит к образованию больших сколов, засаливанию, притуплению алмазных зерен и быстрому износу лезвия. Поэтому большое внимание необходимо уделить обеспечению эффективного охлаждения и правильному подбору режимов резания.
3. Алмазные режущие диски с V-образной рабочей кромкой лезвия.


Выпускаются с углом профиля 90 и 60 градусов и предназначены для формирования фасок по периметру кристалла разделяемой пластины. Диски позволяют значительно снизить величину сколов и нарушенного слоя с планарной стороны. Диски с V-образной рабочей кромкой лезвия могут успешно применяться для разделения подложек МСТУ и других приборов.


4. Алмазные режущие диски с различной концентрацией алмазных зерен в лезвии. Предназначены для разделения всех типов пластин и подложек используемых в микроэлектронике и приборостроении. Относительная концентрация алмазных зерен в лезвии – от 50% до 130%. Диски находятся на стадии промышленных испытаний и внедрения в серийное производство.

Алмазнвй диск для пластин и подложек

 Для уточнения информации либо получения коммерческого предложения, Вы можете связаться с нашим менеджером