Фотошаблоны и фотошаблонные заготовки
Наша компания предлагает следующие фотошаблоны и фотошаблонные заготовки:
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремнии в масштабе 10:1
- 1. Тип маскирующего слоя - хром
- 2. Минимальный элемент – 4 мкм ± 0,15 мкм
- 3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
- 4. Точность совмещения в комплект масок - 0,8 мкм
- 5. Размеры стекла:
- 127 х 127 х 2,6 мм – кальций-натриевое
- 153 х 153 х 2,6 мм – кальций -натриевое
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 5:1
- 1. Тип маскировочного слоя - хром
- 2. Минимальный элемент – 2 мкм ± 0,10 мкм
- 3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
- 4. Точность совмещения в комплекте масок – 0,5 мкм
- 5. Размер стекла:
- 127 х 127 х 2,6 мм – кальций-натриевое
- 127 х 127 х 2,6 мм – кварц
- 153 х 153 х 2,6 мм – кальций-натриевое
- 152 х 152 х 6,35 мм - кварц
Рабочие шаблоны для контактной и проекционной литографии в масштабе 1:1
- 1. Тип маскировочного слоя - хром, оксид железа
- 2. Минимальный элемент – 1,0 мкм ± 0,10 мкм
- 3. Точность совмещения в комплекте ± 0,6 мкм
- 4. Размер стекла:
- 102 х 102 х 2,6 мм
- 127 х 127 х 2,6 мм
- 153 х 153 х 2,6 мм
Дополнительные возможности при изготовлении шаблонов
- 1. Конфигурация распечатки рабочего поля – по желанию заказчика
- 2. Возможность распечатки на одном шаблоне любого количества вариантов топологии
Шаблонные заготовки: ПЖФ, ПХФ, ПХЭР,ПФ
- 1. Размеры заготовок 102 х 102 х 2,6 мм 127 х 127 х 2,6 мм 153 х 153 х 2,6 мм
- 2. Тип стекла: кальций-натриевое, кварц
- 3. Типы маскирующего слоя: хром, окись железа
- 4. Типы резиста: позитивный фоторезист, позитивный электронорезист
Оптические защитные мембраны
- 1. На собственных рамках, на рамках заказчика
- 2. Для длин волн 365 нм, 405 нм и 436 нм
- 3. Пропускание 99±1%
Мы также открыты к пожеланиям заказчика и рассмотрим изготовление фотошаблонов и заготовок по вашему техническому заданию.
Для уточнения информации либо получения коммерческого предложения, чтобы купить фотошаблоны либо фотошаблонные заготовки, Вы можете связаться с нашим менеджером