Распыляемые мишени

Распыляемые мишени для магнетронного распыления изготавливаются методом лучевой и зонной плавки, поставляются в виде пластин, дисков, труб, могут быть фрезерованы в соответствии с требованиями заказчика. Ключевые характеристики поставляемых распыляемых мишеней - малая зернистость и высокая плотность и однородность. 

Распыляемые мишени

 

Предлагаем к поставке следующие виды мишеней для магнетронного напыления:

1. Мишени для магнетронного напыления из чистых металлов:

    • Ванадий   V
    • Никель   Ni
    • Висмут   Bi
    • Ниобий   Nb  
    • Вольфрам   W  
    • Тантал   Ta  
    • Гафний   Gf  
    • Тербий   Tb  
    • Германий   Ge  
    • Титан   Ti  
    • Железо   Fe  
    • Хром   Cr  
    • Кремний   Si  
    • Цинк   Zn  
    • Медь   Cu  
    • Цирконий   Zr  
    • Олово   Sn

2. Мишени для магнетронного напыления из сплавов металлов

    • Алюминий Кремний (AlSi)
    • Алюминий Медь (AlCu)
    • Алюминий Титан (AlTi)
    • Железо Марагнец (FeMn)
    • Индий олово (InSn)    
    • Кремний алюминий (SiAl)    
    • Кремний кобальт (SiCo)    
    • Никель Ванадий (NiV)    
    • Никель Иттрий (NiY)    
    • Никель Железо (NiFeCo)    
    • Никель Кобальт (NiCo)    
    • Никель Медь (NiCu)    
    • Нихром (NiCr)    
    • Титан алюминий (TiAl)    
    • Цинк алюминий (ZnAl)     
    • Цирконий Итрий (ZrY)

3. Мишени для магнетронного напыления из соединений

    • Оксид Алюминия  Al2O3
    • Титанат Бария  BaTiO3
    • Карбид Бора B4C
    • Оксид Ванадия  VO2 V2O5
    • Оксид Гадолиния  Gd2O3
    • Оксид Гафния  HfO2
    • Оксид Индий-Олова (90/10%)    In2O3:SnO2 ITO
    • Оксид Иттрия   Y2O3
    • Моноксид Кремния  SiO
    • Диоксид Кремния   SiO2
    • Карбид Кремния    SiC
    • Нитрид Кремния    Si3N4
    • Гексаборид Лантана    LaB6
    • Манганит Лантана    LaMnO3
    • Оксид Литий-Титана    LiTiO LTO
    • Карбонат Лития    Li2CO3
    • Фторид Лития    LiF
    • Ортофосфат Лития    Li3PO4
    • Ниобат Лития    LiNbO3
    • Танталат Лития    LiTaO
    • Титанат Лития    LiTiO
    • Оксид Магния    MgO
    • Оксид Ниобия    Nb2O5
    • Титанат Стронция  SrTiO3
    • Оксид Тантала Ta2O5
    • Оксид Тантала допированный
    • Эрбием TaO2:Er
    • Нитрид Титана  TiN
    • Оксид Титана  TiO2
    • Карбид Хрома  CrC
    • Оксид Церий-Циркония  CeO2:ZrO2
    • Оксид Цинка  ZnO
    • Оксид Цинка допированный алюминием
    • ZnO:Al AZO
    • Оксид Цинка допированный галлием ZnO:Ga
    • GZO
    • Сульфид Цинка   ZnS
    • Оксид Циркония    ZrO2
    • Оксид Цирконий-Иттрий   ЦРИТО7
    • Оксид Цирконий-Иттрий    ZrO2:Y2O3
    • Цирконат-титанат свинца (ЦТС)    PZT

4. Мишени литийсодержащие для тонкопленочных аккумуляторов

    • LiAlTiPO4(LATP)
    • LiLaZrO (LLZO)
    • LiLaZrAlO
    • Al-LiLaZrTaO
    • LiLaZrNbO
    • LiLaZrТаO
    • LiLaNbO
    • LiScPO
    • LiScAlPO
    • LiScYPO
    • LiMnSiO
    • LiPWO (LiWON)
    • LiBO
    • LiScAlPO
    • LiVSO (LVSO)
    • LiFeMnPO
    • LiTiSiPO (LTSPO)

 

Спецификация распыляемых мишеней

Форма

Круглая

Прямоугольная

Размер*, мм

25-200

400 x 400

Толщина*, мм

2-70

2-70

*Может изменяться в соответствии с требованиями заказчика.

Для получения большей информации свяжитесь с нашим менеджером.