Подложки оксида марганца MnO
Размер: |
3мм x 3мм ~ 10мм x 10мм, по требованиям заказчика. Макс. размер φ13-15мм. |
Толщина: |
0.5мм, 1мм, по требованиям заказчика. |
Ориентация: |
(110), (100), (111) по требованиям заказчика. |
Полировка: |
односторонняя, двусторонняя |
GaN пленки были выращены на близко согласованных по решетке подложках MnO (11-1) с помощью импульсного лазерного осаждения (PLD) и охарактеризовали их структурные свойства с помощью дифракции отраженных электронов высоких энергий (RHEED), атомно-силовой микроскопии (AFM) и скользящего угла падения. Рентгеновская отражательная способность (GIXR). Наблюдение с помощью RHEED показало, что монокристалл GaN (0 0 0 1) растет на MnO (1 1 1), и его эпитаксиальное соотношение в плоскости составляет GaN [1 1 2-bar0] // MnO [1 1-bar0]. Рассогласование решеток между GaN и MnO для этого выравнивания, по расчетам, составляет 1,6%. По измерениям GIXR шероховатость гетерограницы между GaN и подложкой MnO составила 2.3 нм.